Ultra high azimio uwanja uzinduzi skanning elektroniki microscope SU8600 mfululizo
Pamoja na maendeleo ya teknolojia ya ukusanyaji wa haraka wa data na usindikaji wa data, mikroskopu za elektroniki zinaingia katika enzi ambayo haiwezi tu kuzingatia ubora wa data lakini pia mchakato wake wa ukusanyaji. Mfululizo wa SU8600 unashikilia teknolojia ya picha ya baridi ya Regulus8200 ya ubora wa juu, uchambuzi wa mtiririko mkubwa na utendaji wa muda mrefu na thabiti, wakati huo huo huongeza uwezo wa kupata data kwa njia ya moja kwa moja.
- *
- Picha ya kifaa ina chaguzi.
-
sifa
-
vipimo
sifa
sifa
Picha ya High Resolution
Chanzo cha elektroniki cha Hitachi cha mwanga wa juu huhakikisha upatikanaji wa picha za thamani ya juu hata chini ya voltage ya chini ya kutua.
Mfano wa zeoliti ya aina ya RHO ulichukuliwa katika hali ya voltage ya 0.8 kV. Picha ya kushoto ni sura ya jumla ya chembe, picha ya kulia ni picha kubwa, muundo mdogo wa ngazi ya uso wa chembe inaonekana wazi. Uchunguzi wa voltage ya chini ni ufanisi zaidi katika kupunguza uharibifu wa bundle ya elektroniki na kupata habari ya umbo wa uso.
Mfano uliotolewa na: Taasisi ya Teknolojia ya Viwanda ya Japani Bwana Jiada Umemura
High liner ya chini acceleration voltage nyuma kusawanyika picha
3D NAND sehemu ya uchunguzi;
Katika hali ya voltage ya chini ya kasi, ishara ya elektroniki ya usambazaji wa nyuma inaweza kuonyesha tofauti ya lining kati ya safu ya oksidi ya silicon na safu ya nitride ya silicon.
Uchunguzi wa sehemu ya 3D NAND (kasi ya voltage: 1.5kV)
Picha ya haraka ya BSE: Kigundua kipya cha elektroniki cha mwili wa nyuma (OCD)*
Kutokana na matumizi ya aina mpya ya OCD detector, picha ya wazi ya muundo wa kina wa Fin-FET bado inaweza kuonekana hata wakati wa scan chini ya sekunde 1.
Uchunguzi wa ndani wa muundo wa 5nm mchakato SRAM (Accelerating Voltage: 30kV, Scanning wakati <1 sekunde)
Advanced Automation kazi *
EM Flow Creator inaruhusu wateja kujenga mtiririko wa kazi wa moja kwa moja wa kukusanya picha ya kuendelea. EM Flow Creator inafafanua kazi tofauti za SEM kama moduli za graphical kama vile kuweka viwango vya kukuza, kuhamasisha nafasi ya sampuli, kurekebisha umbali wa kuzingatia na tofauti ya mwanga na giza. Watumiaji wanaweza kuvuta kwa panya rahisi na kuunda moduli hizi katika mpango wa kazi kwa utaratibu wa mantiki. Baada ya debugging na uthibitisho, programu inaweza kupata data ya picha ya ubora wa juu na yenye uwezo wa kurudisha kila simu.
Kubadilika user interface
Asili inasaidia maonyesho mawili, kutoa nafasi rahisi na ufanisi wa uendeshaji. 6 channel wakati huo huo huonyesha na kuhifadhi, kufikia uchunguzi wa haraka wa ishara nyingi na ukusanyaji.
1, 2, 4 au 6 channel ishara inaweza kuonyeshwa wakati huo huo kwenye kuonyesha moja, ambayo inaweza kubadilishwa ni pamoja na SEM kila detector pamoja na sampuli chumba kamera na kamera navigation. Nafasi ya kazi inaweza kupanua kwa kutumia maonyesho mawili, interface ya mtumiaji inaweza kuboreshwa ili kuboresha ufanisi wa kazi.
vipimo
Ndege | SU8600 mfululizo | |
---|---|---|
Mfumo wa Optical | Dual elektroniki kama azimio | 0.6 nm@15 kV |
0.7 nm@1 kV * | ||
Kuongeza kiwango | 20 to 2,000,000 x | |
Silaha za elektroniki | Chanzo cha elektroniki cha uzalishaji wa uwanja baridi, inasaidia kazi ya flash rahisi, ikiwa ni pamoja na mfumo wa kupika anode. | |
kasi ya voltage | 0.5 to 30 kV | |
Voltage ya kutua | 0.01 to 20 kV | |
Detector ya | (Sehemu ya chaguo) | Kuchunguza juu (UD) |
UD ExB nishati filter na SE / BSE ishara mchanganyiko kazi | ||
Kuchunguza chini (LD) | ||
Kuchunguza Juu (TD) | ||
TD nishati filter | ||
Kigundua cha elektroniki cha kutawanyika nyuma ndani ya kioo (IMD) | ||
Kuchunguza kwa Elektroniki ya Semiconductor (PD-BSED) | ||
Mpya Flashing mwili nyuma kusawanyika elektroniki detector (OCD) | ||
Detector ya fluorescence ya cathode (CLD) | ||
Kuchunguza kwa kupima (STEM Detector) | ||
vifaa | (Sehemu ya chaguo) | Kamera ya urambazaji, kamera ya chumba cha sampuli, X-ray energy spectrometer (EDS), back scattered electron diffraction detector (EBSD) |
Programu | (Sehemu ya chaguo) | EM Flow Creator, HD Capture (hadi 40,960 x 30,720 pixels) |
Mfano wa Benki | Motor kuendesha shaft | 5 axis motor kuendesha (X / Y / R / Z / T) |
Motor kuendesha shaft | X:0~110 mm | |
Y:0~110 mm | ||
Z:1.5~40 mm | ||
T:-5~70° | ||
R:360° | ||
Chumba cha sampuli | Ukubwa wa sampuli | Kiwango cha juu: 150 mm |
- *
- Mode ya kupunguza kasi
Jamii za bidhaa zinazohusiana
- Mfumo wa ion ya kuzingatia (FIB / FIB-SEM)
- TEM / SEM sampuli kabla ya usindikaji wa kifaa